精密位置決めステージのTHKプレシジョン

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  • R&D から 装置組み込みまでナノスケールのテクノロジーを支える『超精密位置決め機器』 と 『高感度フォースセンサ』 R&D から 装置組み込みまでナノスケールのテクノロジーを支える『超精密位置決め機器』 と 『高感度フォースセンサ』

    Nanometer PositioningR&D から 装置組み込みまでナノスケールのテクノロジーを支える『超精密位置決め機器』 と 『高感度フォースセンサ』 FORCE SENSING

    R&D から 装置組み込みまで
    ナノスケールの
    テクノロジーを支える
    『超精密位置決め機
    器』 と 『高感度フォースセンサ』

  • 圧電アクチュエータ、ピエゾ素子を使用したナノオーダの精密位置決めステージ・装置の専門メーカー 圧電アクチュエータ、ピエゾ素子を使用したナノオーダの精密位置決めステージ・装置の専門メーカー

    Ultraprecise Positioning Stage

    『1nmの超高分解能』 と 『ミリ秒の高速応答』で
    先進技術を支える超精密位置決めピエゾステージ

    Applications

    半導体・FPD関連装置／AFM／HDD検査／分
    析機器／光通信・計測

  • 顕微鏡や検査・測定装置、観察機器に組み込むことでレンズフォーカスの高速化・高精度化を実現 顕微鏡や検査・測定装置、観察機器に組み込むことでレンズフォーカスの高速化・高精度化を実現

    Focusing Positioner

    顕微鏡や検査・測定装置、観察機器に組み込むことで
    レンズフォーカスの高速化・高精度化を実現

    Applications

    干渉応用計測／画像処理／半導体・FPD検査
    ／レーザ加工／細胞観察

  • レーザ光スキャニングや光軸の精密アライメントに最適サブμrad分解能を備えたピエゾ駆動ミラーチルティング レーザ光スキャニングや光軸の精密アライメントに最適サブμrad分解能を備えたピエゾ駆動ミラーチルティング

    For Optical Mirror Alignment

    レーザ光スキャニングや光軸の精密アライメントに最適
    サブμrad分解能を備えたピエゾ駆動ミラーチルティング

    Applications

    レーザ光走査／キャビティ調整／光バイオ／
    レーザ加工

  • 切削工具や重量加工物も安定且つ高精度に位置制御堅牢構造をもつナノ・マイクロ加工用ステージ 切削工具や重量加工物も安定且つ高精度に位置制御堅牢構造をもつナノ・マイクロ加工用ステージ

    For High-precision Processing
    Machining

    切削工具や重量加工物も安定且つ高精度に位置制御
    堅牢構造をもつナノ・マイクロ加工用ステージ

    Applications

    ダイヤモンドバイト微細送り／精密金型加工
    ／高速工具制御（FTS）／微細切削,研削加工

  • ミリグラム（mg）の微小な力を検知・測定する高感度荷重センサ ミリグラム（mg）の微小な力を検知・測定する高感度荷重センサ

    Micro-Force Sensor

    ミリグラム（mg）の微小な力を検知・測定する高感
    度荷重センサ

    Applications

    穿刺力測定／引っ張り・圧縮試験／摩擦力／
    粘弾性試験／接触検知

  • ミリグラム（mg）の微小な力を検知・測定する高感度荷重センサ ミリグラム（mg）の微小な力を検知・測定する高感度荷重センサ

    Linear Motor Stage

    低速リップルが小さく優れた速度安定性と高い位置決
    め精度 を備えたコアレスリニアモータ採用の精密ロン
    グストロークステージ

    Applications

    液晶・半導体関連装置／FA・自働機／組立・
    搬送機／試験・測定装置

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