真空内にステージを設置する方法について
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対象製品
ピエゾステージ
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課題
大気仕様でカタログに掲載されているピエゾステージを真空内で使用できるよう改良したい。
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対応・ご提案
カタログに掲載しているピエゾステージは全て大気での使用を想定しております。真空仕様をご希望の場合、主に次の変更にて対応しております。
- 真空内のケーブル線および接着剤を真空対応タイプとする。
- 真空内ケーブル長、大気側ケーブル長をそれぞれ決める。（大気仕様は通常全長2mです）
- 真空隔壁への連結のためBNCコネクタとする。
お客様にて対応
真空隔壁の導入端子を “絶縁型BNC（メス）” としてご用意いただく。（1軸ステージでピエゾケーブル用、センサケーブル用の2個のBNCが必要です）
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