真空内にステージを設置する方法について

• 対象製品

  ピエゾステージ

• 課題

  大気仕様でカタログに掲載されているピエゾステージを真空内で使用できるよう改良したい。

• 対応・ご提案

  カタログに掲載しているピエゾステージは全て大気での使用を想定しております。真空仕様をご希望の場合、主に次の変更にて対応しております。

  • 真空内のケーブル線および接着剤を真空対応タイプとする。
  • 真空内ケーブル長、大気側ケーブル長をそれぞれ決める。（大気仕様は通常全長2mです）
  • 真空隔壁への連結のためBNCコネクタとする。

  お客様にて対応

  真空隔壁の導入端子を “絶縁型BNC（メス）” としてご用意いただく。（1軸ステージでピエゾケーブル用、センサケーブル用の2個のBNCが必要です）