ナノメートル精度をもつピエゾステージは重いものでも高精度に位置決め可能？

• 対象製品

  ピエゾステージ

• 課題

  重量物を高分解能で位置制御を行いたい。

• 対応・ご提案

  ピエゾステージの位置決め安定性の目安としてスペック表の”共振周波数”の項目が参考になります。
  この共振周波数の値は、主にステージの機構によって決まります。

  
  弾性ヒンジ機構のピエゾステージをばねマスの等価モデルとしたとき、共振周波数が単振動の式で表されるとします。

  

  ここから、剛性K と 質量（M+m） の比率が高いほどfが高くなります。
  さらに、搭載物の形状や設置条件（中心荷重または偏荷重等）も影響します。
  ご希望の

  • 最大ストローク
  • 本体サイズ
  • 搭載負荷量、形状

  などの情報をいただければ、FEM解析で最適設計したピエゾステージをご提案いたします。