「ピエゾステージ」と「ピエゾモータステージ」の違いは移動量だけ？

• 対象製品

  ピエゾステージ, ピエゾモータステージ

• 課題

  ナノメートル精度を備えた精密位置決めステージである「ピエゾステージ」 と 「ピエゾモータステージ」 の特徴の違い、および選定判断を知りたい。

• 対応・ご提案

  「ピエゾステージ」 と 「ピエゾモータステージ」 はどちらもピエゾ素子（圧電素子）を駆動源としていますが、動作原理が異なるため移動量だけの違いではありません。

  • ピエゾステージ

    

    [駆動原理]	圧電素子の伸縮によりテーブルを動かします。
    [主な特徴]	ストロークが限定 超高分解能 高速応答

  • ピエゾモータステージ

    

    [駆動原理]	4本の足（LEGS）が伸長とベンディングを繰り返し順次テーブルを送ります。
    [主な特徴]	長ストロークが可能 高分解能 電源OFFでも停止位置を維持