ステージが意図した通りに動いているかモニタしたい。
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対象製品
ピエゾステージ
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課題
ピエゾステージの使用中、動作の様子をリアルタイムで確認したい。
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対応・ご提案
数十μm～数百μmの移動範囲しかもたないピエゾステージは、電磁モータを用いたステージのように長い走行ではないため動きの様子が肉眼では認識しにくく、また高精度な位置決め時の挙動（整定状態）をモニタしたいこともあります。
このとき、外部からレーザー干渉計等で動きを見ることもできますが、フィードバック制御で用いている内蔵変位センサの信号をSensor Monitor端子から外部に電圧信号として出力しているためこれをオシロスコープで読み取ることで動きの様子を視覚化できます。
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