精密位置決めステージのTHKプレシジョン

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  • 非磁性や熱的安定性を考慮した材質で製作可能か?

非磁性や熱的安定性を考慮した材質で製作可能か?

  • 対象製品

    ピエゾステージ、フォースセンサ

  • 課題

    製品の本体を非磁性や熱的安定性を高めた材質で検討したい。

  • 対応・ご提案

    カタログ標準品は本材材質としてアルミ合金またはステンレス鋼を用いていますが、用途に適した材質で製作可能です。

    <ピエゾステージでの製作実績と特徴>

    アルミ合金: 軽量で加工性が良く、当社で最もよく使用されます。
    鋼材: 高剛性で耐荷重性を備える場合に適しています。
    ステンレス: 主にマルテンサイト系の材料が用いられ、耐環境性や非磁性の用途に適しています。
    チタン合金: 非磁性特性を必要とする機器への組み込み時に使用します。
    スーパーインバ: 熱膨張率が低いため、周囲温度変化の影響を特に小さくしたい場合に使用されます。

「開口付きXY軸ステージ」におけるアルミ合金とスーパーインバの場合の熱的ひずみ量のFEM解析比較例

「開口付きXY軸ステージ」におけるアルミ合金とスーパーインバの場合の熱的ひずみ量のFEM解析比較例
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