精密位置決めステージのTHKプレシジョン

ピエゾステージ

最高1nmの超高分解能と速い応答速度で位置制御でき、微小範囲の精密位置決めに最適です。豊富なバリエーションを揃えています。

ピエゾモータステージ

数十mmの可動全域をナノレベルでポジショニングが行え、スケール内蔵により高い位置再現性も備えた長ストローク高精度ステージです。

リニアモータステージ

コアレスリニアモータ制御により高い積載負荷でも低速から高速まで滑らかで安定した走行で位置決めが行えます。

フォースセンサ

mgレベルの小な力にも反応する「微小力タイプ」と、100N以上の荷重も安定して測れる「高剛性タイプ」を揃えた力（ちから）検出センサです。