Z軸_歪みゲージ式汎用モデル｜精密位置決め装置のTHKプレシジョン

jp
en

資料ダウンロードお問い合わせ

Z軸_歪みゲージ式汎用モデル

Z軸_歪みゲージ式汎用モデル

内蔵変位センサとして「歪みゲージ式センサ」を採用しコストを抑えた汎用ピエゾステージです。 20nmの移動分解能とフィードバック制御により信頼性の高い位置決めが行え、優れた高速応答性を備えています。

PSVL Z軸ステージ

型番	PSVL60-200U-S	PSVL60-400U-S
外観
ストローク（クローズドループ時）	200μm	400μm
分解能	20nm	50nm
繰り返し位置決め精度	±20nm	±50nm
耐荷重	5N
共振周波数（0g負荷時）	390Hz	270Hz
内蔵変位センサ	歪みゲージ式変位センサ
本体材質	アルミ＋鋼

直動系カタログダウンロード直動系 CADダウンロード（総合）価格表ダウンロード

PSVL＊＊-S

直動系カタログダウンロード直動系 CADダウンロード（総合）価格表ダウンロード

直動系カタログダウンロード直動系 CADダウンロード（総合）価格表ダウンロード

直動系カタログダウンロード直動系 CADダウンロード（総合）価格表ダウンロード

製品に関するお問い合わせ

フォームが表示されるまでしばらくお待ち下さい。

恐れ入りますが、しばらくお待ちいただいてもフォームが表示されない場合は、こちらまでお問い合わせください。