X軸_スタンダードモデル
1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ
2つの機構で性能分類
高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と、ストロークを確保した「変位拡大機構」に分類されます。
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直接駆動機構
- 圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です。
- ストロークを抑えることで分解能、応答性に優れています。
- 剛性が高く、負荷が大きくても安定した位置決めが行えます。
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変位拡大機構
- 圧電素子の伸長を機械的に増幅させる機構を備えています。
- 拡大率により、直接駆動の数倍～十数倍のストロークが得られます。
- 内蔵変位センサによるフィードバック制御で位置再現性も維持します。
製品応用例
- 半導体、FPD検査装置
- HDDテスタ
- レーザ光学系アライメント
- 干渉系機器
- 分析機器
- ナノメータポジショニング
PS1H / PS1L 直動X軸ステージ
PS1H 直接駆動機構
| 型番 | PS1H25-006U | PS1H35-006U | PS1H45-012U | PS1H60F-012U | PS1H40F-020U | PS1H60-020U | PS1H80-030U | PS1H80F-030U |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 外観 |
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| ストローク （クローズドループ時） |
6 μm | 12 μm | 20 μm | 30 μm | ||||
| 分解能 | 1 nm | |||||||
| 繰り返し位置決め精度 | ±1 nm | |||||||
| 耐荷重 | 5 N | 10 N | 10 N | 50 N | 30 N | 10 N | 10 N | 50 N |
| 共振周波数（0g負荷時） | 13000 Hz | 9700 Hz | 6200 Hz | 4100 Hz | 4100 Hz | 3300 Hz | 1900 Hz | 1900 Hz |
| 内蔵変位センサ | 静電容量式変位センサ | |||||||
| 本体材質 | アルミ | アルミ | アルミ | 鋼 | 鋼 | アルミ | アルミ | 鋼 |
PS1L 変位拡大機構
| 型番 | PS1L45-030U | PS1L40-050U | PS1L60-060U | PS1L40-100U | PS1L65-250U | PS1L66-500U | PS1L80-700U |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 外観 |
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| ストローク （クローズドループ時） |
30 μm | 50 μm | 60 μm | 100 μm | 250 μm | 500 μm | 700 μm |
| 分解能 | 1 nm | 2 nm | 10 nm | 20 nm | 30 nm | ||
| 繰り返し位置決め精度 | ±1 nm | ±2 nm | ±10 nm | ±20 nm | ±30 nm | ||
| 耐荷重 | 10 N | 5 N | 10 N | 5 N | 5 N | 5 N | 5 N |
| 共振周波数（0g負荷時） | 1500 Hz | 970 Hz | 1300 Hz | 510 Hz | 360 Hz | 200 Hz | 106 Hz |
| 内蔵変位センサ | 静電容量式変位センサ | ||||||
| 本体材質 | アルミ | アルミ | アルミ | アルミ | アルミ | アルミ | アルミ |
PS1H / PS1L 直動X軸ステージ
PS1H 直接駆動機構
PS1L 変位拡大機構
機構およびストロークと分解能、共振周波数の比較一覧
応答性の速い動作や高分解能を求める場合は、ストロークを必要最小限に抑えることをおすすめします。
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