精密位置決めステージのTHKプレシジョン

光学ミラーアライメント用

光学ミラーアライメント用

光学ミラーの角度微調整用に設計したステージです。“高速振動”や“高い位置再現性”に優れており、レーザ光スキャニング、ミラー精密アライメントなどに最適です。

大径ミラーにもカスタム対応

駆動源のピエゾ素子は高い発生力(数百Nクラス)を持っているため、重量のある大径ミラーでも安定して高精度に位置決めが可能です。

角度制御も容易

角度を数値指定して移動させる「静的動作」も、連続的に往復振動させる「振動動作」も、コントローラ/ドライバを介して簡単に行えます。

製品応用例

  • 光軸調整
  • キャビティ調整
  • レーザ光走査
  • レーザ加工
  • チルト調整
  • 光バイオ

1軸チルト(θx)

SCROLL
SCROLL
型番 PT1M36-500S PT1T60-500S
外観 光学ミラーアライメント用 光学ミラーアライメント用
最大振れ角 クローズ時 500"[秒]≒0.14°
≒2.4mrad
500"[秒]≒0.14°
≒2.4mrad
オープン時 630"[秒]≒0.175°
≒3.1mrad
550"[秒]≒0.15°
≒2.6mrad
分解能 0.05"[秒]≒0.24μrad 0.02"[秒]≒0.10μrad
繰り返し位置決め精度 ±0.05"[秒]≒±0.24μrad ±0.02"[秒]≒±0.10μrad
耐荷重 0.3N 10N
共振周波数(0g負荷時) 8000Hz 1800Hz
内蔵変位センサ 静電容量式変位センサ
本体材質 アルミ

2軸チルト(θxθy)

SCROLL
SCROLL
型番 PT2M60-240S PT2M120-500S PT2M40-800S
外観 光学ミラーアライメント用 光学ミラーアライメント用 光学ミラーアライメント用
最大振れ角 クローズ時 (θx,θy)240"[秒]≒0.07°
≒1.2mrad
(θx,θy)500"[秒]≒0.14°
≒2.4mrad
(θx,θy)800"[秒]≒0.22°
≒3.9mrad
オープン時 (θx,θy)290"[秒]≒0.08°
≒1.4mrad
(θx,θy)580"[秒]≒0.16°
≒2.8mrad
(θx,θy)900"[秒]≒0.25°
≒4.4mrad
分解能 (θx,θy)0.05"[秒]≒0.24μrad
繰り返し位置決め精度 (θx,θy)±0.05"[秒]≒±0.24μrad
耐荷重 0.5N 5N 1N
共振周波数(0g負荷時) 760Hz 180Hz 330Hz
内蔵変位センサ 静電容量式変位センサ
本体材質 アルミ アルミ アルミ+鋼

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