光学ミラーアライメント用
光学ミラーの角度微調整用に設計したステージです。“高速振動”や“高い位置再現性”に優れており、レーザ光スキャニング、ミラー精密アライメントなどに最適です。
大径ミラーにもカスタム対応
駆動源のピエゾ素子は高い発生力(数百Nクラス)を持っているため、重量のある大径ミラーでも安定して高精度に位置決めが可能です。
角度制御も容易
角度を数値指定して移動させる「静的動作」も、連続的に往復振動させる「振動動作」も、コントローラ/ドライバを介して簡単に行えます。
製品応用例
- 光軸調整
- キャビティ調整
- レーザ光走査
- レーザ加工
- チルト調整
- 光バイオ
1軸チルト(θx)
SCROLL
型番 | PT1M36-500S | PT1T60-500S | |
---|---|---|---|
外観 | |||
最大振れ角 | クローズ時 | 500"[秒]≒0.14° ≒2.4mrad |
500"[秒]≒0.14° ≒2.4mrad |
オープン時 | 630"[秒]≒0.175° ≒3.1mrad |
550"[秒]≒0.15° ≒2.6mrad |
|
分解能 | 0.05"[秒]≒0.24μrad | 0.02"[秒]≒0.10μrad | |
繰り返し位置決め精度 | ±0.05"[秒]≒±0.24μrad | ±0.02"[秒]≒±0.10μrad | |
耐荷重 | 0.3N | 10N | |
共振周波数(0g負荷時) | 8000Hz | 1800Hz | |
内蔵変位センサ | 静電容量式変位センサ | ||
本体材質 | アルミ |
2軸チルト(θxθy)
SCROLL
型番 | PT2M60-240S | PT2M120-500S | PT2M40-800S | |
---|---|---|---|---|
外観 | ||||
最大振れ角 | クローズ時 | (θx,θy)240"[秒]≒0.07° ≒1.2mrad |
(θx,θy)500"[秒]≒0.14° ≒2.4mrad |
(θx,θy)800"[秒]≒0.22° ≒3.9mrad |
オープン時 | (θx,θy)290"[秒]≒0.08° ≒1.4mrad |
(θx,θy)580"[秒]≒0.16° ≒2.8mrad |
(θx,θy)900"[秒]≒0.25° ≒4.4mrad |
|
分解能 | (θx,θy)0.05"[秒]≒0.24μrad | |||
繰り返し位置決め精度 | (θx,θy)±0.05"[秒]≒±0.24μrad | |||
耐荷重 | 0.5N | 5N | 1N | |
共振周波数(0g負荷時) | 760Hz | 180Hz | 330Hz | |
内蔵変位センサ | 静電容量式変位センサ | |||
本体材質 | アルミ | アルミ | アルミ+鋼 |
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