Z軸_高耐久モデル
1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ
2つの機構で性能分類
高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と、ストロークを確保した「変位拡大機構」に分類されます。
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直接駆動機構
- 圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です。
- ストロークを抑えることで分解能、応答性に優れています。
- 剛性が高く、負荷が大きくても安定した位置決めが行えます。
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変位拡大機構
- 圧電素子の伸長を機械的に増幅させる機構を備えています。
- 拡大率により、直接駆動の数倍～十数倍のストロークが得られます。
- 内蔵変位センサによるフィードバック制御で位置再現性も維持します。
製品応用例
- 半導体、FPD検査装置
- HDDテスタ
- レーザ光学系アライメント
- 干渉系機器
- 分析機器
- ナノメータポジショニング
直接駆動機構
| 型番 | PSMVH60-020U | PSMVH60F-020U |
|---|---|---|
| 外観 |  |
 |
| ストローク（クローズドループ時） | 20μm | |
| 分解能 | 1nm | |
| 繰り返し位置決め精度 | ±1nm | |
| 耐荷重 | 50N | |
| 共振周波数（0g負荷時） | 1730Hz | 1620Hz |
| 内蔵変位センサ | 静電容量式変位センサ | |
| 本体材質 | アルミ | 鋼 |
変位拡大機構
| 型番 | PSMVL60-060U | PSMVL60F-060U | PSMVL60-100U | PSMVL60F-100U |
|---|---|---|---|---|
| 外観 |  |
 |
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| ストローク（クローズドループ時） | 60μm | 100μm | ||
| 分解能 | 2nm | 2nm | ||
| 繰り返し位置決め精度 | ±2nm | ±2nm | ||
| 耐荷重 | 10N | 10N | ||
| 共振周波数（0g負荷時） | 420Hz | 380Hz | 310Hz | 270Hz |
| 内蔵変位センサ | 静電容量式変位センサ | 静電容量式変位センサ | ||
| 本体材質 | アルミ | 鋼 | アルミ | 鋼 |
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