横型タイプ
対物レンズの焦点調整用に専用設計したピエゾステージです。 顕微鏡や各種の検査・測定装置、観察機器に組み込むことでレンズの焦点調整の高速化や高精度化が可能になります。
各メーカの対物レンズが取り付け可能
- 各メーカのレンズねじ径に適合できるよう4種類のねじサイズから選択できます。
- 別売で“ねじ径変換アダプタ”も用意しています。
- 規格外のレンズの取り付けもご相談ください。
選べる4つのタイプ
-
【横型タイプ】
- 本体の厚みを抑えた構造です。
- ストロークのバリエーションが豊富で、長い移動量を必要とする場合はこのタイプから選定します。
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【縦型タイプ】
- 剛性が高く応答性を重視したタイプです。
- 重いレンズや鏡筒の長いレンズを使用する場合、あるいは高速フォーカスを求める場合に適しています。
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【箱型タイプ】
- 対物レンズを中心とした対称形両持ち構造とし、高重量のレンズでも安定したフォーカスが行えます。
- 4本のねじで確実に設置固定でき、製造装置や検査装置への組み込み搭載に適しています。
-
【鏡筒用】
- 顕微鏡の鏡筒を取り付けてフォーカス方向に微調できます。
製品応用例
- 高速フォーカス
- 画像処理機器
- 共焦点顕微鏡
- レーザ加工
- 半導体、FPD装置
- 干渉計形状測定
PFH 内蔵変位センサ：静電容量式
| 型番 | PFHC＊＊ -015U |
PFHW＊＊ -015U |
PFHC＊＊ -100U |
PFHW＊＊ -100U |
PFHW＊＊ -200U |
PFHW＊＊ -300U |
PFHW＊＊ -400U |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 外観 |  |
||||||
| 呼び径 | 小径 | 大径 | 小径 | 大径 | 大径 | 大径 | 大径 |
| ストローク(クローズドループ時) | 15μm | 100μm | 200μm | 300μm | 400μm | ||
| 分解能 | 1nm | 2nm | 5nm | 10nm | 20nm | ||
| 繰り返し位置決め精度 | ±1nm | ±2nm | ±5nm | ±10nm | ±20nm | ||
| 共振周波数（0g負荷時） | 950Hz | 680Hz | 520Hz | 430Hz | 370Hz | 300Hz | 240Hz |
| 内蔵変位センサ | 静電容量式変位センサ | ||||||
| 本体材質 | アルミ + 鋼 | ||||||
PFH 内蔵変位センサ：歪みゲージ式
| 型番 | PFHW＊＊-200U-S | PFHW＊＊-400U-S | PFHC2020-800U-S |
|---|---|---|---|
| 外観 |  |
 |
|
| 呼び径 | 大径 | 大径 | 小径 |
| ストローク(クローズドループ時) | 200μm | 400μm | 800μm |
| 分解能 | 20nm | 50nm | 100nm |
| 繰り返し位置決め精度 | ±20nm | ±50nm | ±100nm |
| 共振周波数（0g負荷時） | 380Hz | 250Hz | 120Hz |
| 内蔵変位センサ | 歪みゲージ式変位センサ | ||
| 本体材質 | アルミ + 鋼 | 鋼 | |
PFH 金属ケース封入タイプ圧電素子使用
| 型番 | PFHMW＊＊-100U |
|---|---|
| 外観 |  |
| 呼び径 | 大径 |
| ストローク(クローズドループ時) | 100μm |
| 分解能 | 2nm |
| 繰り返し位置決め精度 | ±2nm |
| 共振周波数（0g負荷時） | 370Hz |
| 内蔵変位センサ | 静電容量式変位センサ |
| 本体材質 | アルミ + 鋼 |
PFH 内蔵変位センサ：静電容量式
PFH 内蔵変位センサ：歪みゲージ式
PFH 金属ケース封入タイプ圧電素子使用
静電容量式
歪みゲージ式
金属ケース封入タイプ圧電素子使用
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