チルト（+Z）タイプ
ピエゾ駆動による回転や角度調整が行えます。 角度変位量はわずかながら、高速振動や角度分解能に優れ、光学デバイスの微小角アライメントや精密面合わせなどに最適です。
弾性ヒンジ機構による回転案内
独自設計の弾性ヒンジ機構により、ピエゾ素子のわずかな伸縮を変位拡大するとともに安定した回転動作を支持しています。
摩擦摩耗がないため滑らかで高速な動きに優れており、微小角の調整用途に適しています。
製品応用例
- レーザ光軸調整
- 精密平行面合わせ
- 光学デバイス微小角調整
- チルト調整
- キャビティ長調整
PT1T / PT3V チルト（+昇降）タイプ
| 型番 | PT3V80F-400S | PT3V100-800S | |
|---|---|---|---|
| 外観 |  |
 |
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| 最大チルト角， 移動量 | チルト(θx,θy) | ±400"［秒］≒±0.11° ≒±1.9mrad |
±800"［秒］≒±0.22° ≒±3.9mrad |
| 昇降(Z) | 100μm | 300μm | |
| 分解能 | チルト(θx,θy) | 0.02"［秒］≒0.10μrad | 0.04"［秒］≒0.19μrad |
| 昇降(Z) | 2nm | 10nm | |
| 繰り返し位置決め精度 | チルト(θx,θy) | ±0.02"［秒］≒±0.10μrad | ±0.04"［秒］≒±0.19μrad |
| 昇降(Z) | ±2nm | ±10nm | |
| 耐荷重 | 10N | ||
| 共振周波数（0g負荷時） | 270Hz | 230Hz | |
| 内蔵変位センサ | 静電容量式変位センサ | ||
| 本体材質 | 鋼 | アルミ＋鋼 | |
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