Z軸ステージ
数mm～数十mmのストロークを20～40nmの高い分解能で位置決め制御できる高精度ステージです。アクチュエータにPiezoMotor社のPiezoLEGS®アクチュエータを採用したステージです。アクチュエータ推力に6Nタイプと20Nタイプがあり、静止時も推力とほぼ同じ保持力を維持し、静止時の安定性, 外乱に対し高い位置精度を保ちます。本体材質としてアルミ製モデルとSUS製モデルを用意しています。
特徴
- スリムで省スペース
- 自己発熱が少ない
- 真空環境対応、非磁性対応
- リニアエンコーダ内蔵で高い位置再現性
製品応用例
- 光学系の高精度位置決め
- レーザーアライメント
- 精密マッピング測定
- X線／分析・測定装置
- 顕微鏡用試料ステージ
- 位置調整後に静止保持する用途
これらの用途において、主に定点位置決めを要する用途や位置調整後電源を切り静止保持する用途の場合は非常に有効です。
垂直タイプ
LSVL90（F）-12
| 型番 | LSVL90-12A-20 | LSVL90F-12A-20 | LSVL90-12B-20 | LSVL90F-12B-20 | |
|---|---|---|---|---|---|
外観 |
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|
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可動範囲 |
±6㎜( 全範囲12㎜) |
±6㎜( 全範囲12㎜) |
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分解能 |
20nm |
40nm |
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繰り返し位置決め精度 |
±20nm |
±40nm |
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最大移動速度 |
5 mm/sec |
5 mm/sec |
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耐荷重 |
0.5 kg |
0.5 kg |
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推力 |
20 N |
20 N |
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光学式内蔵リニアスケールタイプ |
レニショー製 |
THKプレシジョン製 |
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本体 |
質量 |
900g |
2200g |
900g |
2200g |
材質 |
アルミ |
SUS |
アルミ |
SUS |
|
水平面タイプ
LSVL90（F）-03
| 型番 | LSVL90-03A-20 | LSVL90F-03A-20 | LSVL90-03B-20 | LSVL90F-03B-20 | |
|---|---|---|---|---|---|
外観 |
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|
||||
可動範囲 |
±1.5㎜( 全範囲3㎜) |
±1.5㎜( 全範囲3㎜) |
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分解能 |
20nm |
40nm |
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繰り返し位置決め精度 |
±20nm |
±40nm |
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最大移動速度 |
1 mm/sec |
1 mm/sec |
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耐荷重 |
5 kg |
5 kg |
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推力 |
20 N |
20 N |
|||
光学式内蔵リニアスケールタイプ |
レニショー製 |
THKプレシジョン製 |
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本体 |
質量 |
1100g |
2600g |
1100g |
2600g |
材質 |
アルミ |
SUS |
アルミ |
SUS |
|
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水平面タイプの機構
くさび形の移動テーブルを上下に組み合わせた構造で、下側のくさびを圧電アクチュエータで水平方向に動かすことで、上側のくさびが昇降する機構です。水平用と傾斜用のクロスローラガイドにより滑らかで高精度な伝達方向変換を行います。
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