X軸_高耐久モデル
1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ
2つの機構で性能分類
高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と、ストロークを確保した「変位拡大機構」に分類されます。
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直接駆動機構
- 圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です。
- ストロークを抑えることで分解能、応答性に優れています。
- 剛性が高く、負荷が大きくても安定した位置決めが行えます。
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変位拡大機構
- 圧電素子の伸長を機械的に増幅させる機構を備えています。
- 拡大率により、直接駆動の数倍～十数倍のストロークが得られます。
- 内蔵変位センサによるフィードバック制御で位置再現性も維持します。
製品応用例
- 半導体、FPD検査装置
- HDDテスタ
- レーザ光学系アライメント
- 干渉系機器
- 分析機器
- ナノメータポジショニング
PSM1H 直接駆動機構
| 型番 | PSM1H60-020U | PSM1H60F-020U | PSM1H70-040U | PSM1H70F-040U | PSM1H80-060U | PSM1H80F-060U |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 外観 |  |
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| ストローク(クローズドループ時) | 20μm | 40μm | 60μm | |||
| 分解能 | 1nm | 2nm | ||||
| 繰り返し位置決め精度 | ±1nm | ±2nm | ||||
| 耐荷重 | 10N | 30N | 10N | 30N | 10N | 50N |
| 共振周波数（0g負荷時） | 4300Hz | 3110Hz | 2740Hz | 1780Hz | 1600Hz | 1080Hz |
| 内蔵変位センサ | 静電容量式変位センサ | |||||
| 本体材質 | アルミ | 鋼 | アルミ | 鋼 | アルミ | 鋼 |
PSM1L 変位拡大機構
| 型番 | PSM1L70-100U |
|---|---|
| 外観 |  |
| ストローク(クローズドループ時) | 100μm |
| 分解能 | 2nm |
| 繰り返し位置決め精度 | ±2nm |
| 耐荷重 | 10N |
| 共振周波数（0g負荷時） | 930Hz |
| 内蔵変位センサ | 静電容量式変位センサ |
| 本体材質 | アルミ |
「金属ケース封入タイプ」と「樹脂外装タイプ」
金属ケース封入タイプは、圧電素子を外気から遮断した構造 とすることで雰囲気の影響を受けにくくしています。樹脂外装 タイプの圧電素子と比較して周囲温度や湿度に対する耐久性 に優れるほか、長時間の定電圧印加でも劣化（寿命）が起こり にくいなどの特徴を備えています。
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