XYZ軸_歪みゲージ式汎用モデル
内蔵変位センサとして「歪みゲージ式センサ」を採用しコストを抑えた汎用ピエゾステージです。 20nmの移動分解能とフィードバック制御により信頼性の高い位置決めが行え、優れた高速応答性を備えています。
ストローク：（XY）200μm＋（Z）200μm
| 型番 | (XY) PS2L80-200U-S | (Z) PSVL60-200U-S |
|---|---|---|
| 外観 |  |
|
| ストローク（クローズドループ時） | （X,Y）200μm | 200μm |
| 分解能 | （X,Y）20nm | 20nm |
| 繰り返し位置決め精度 | （X,Y）±20nm | ±20nm |
| 耐荷重 | 5N | 5N |
| 共振周波数（0g負荷時） | 170Hz | 390Hz |
| 内蔵変位センサ | 歪みゲージ式変位センサ | 歪みゲージ式変位センサ |
| 本体材質 | アルミ＋鋼 | アルミ＋鋼 |
ストローク：（XY）400μm＋（Z）400μm
| 型番 | PS2L90-400U-S | PSVL60-400U-S |
|---|---|---|
| 外観 |  |
|
| ストローク（クローズドループ時） | （X,Y）400μm | 400μm |
| 分解能 | （X,Y）50nm | 50nm |
| 繰り返し位置決め精度 | （X,Y）±50nm | ±50nm |
| 耐荷重 | 5N | 5N |
| 共振周波数（0g負荷時） | 155Hz | 270Hz |
| 内蔵変位センサ | 歪みゲージ式変位センサ | 歪みゲージ式変位センサ |
| 本体材質 | アルミ＋鋼 | アルミ＋鋼 |
ストローク：（XY）200μm＋（Z）200μm
ストローク：（XY）400μm＋（Z）400μm
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