精密位置決めステージのTHKプレシジョン
直動系
チルト・回転系
対物レンズフォーカス用
超精密加工機用
アクチュエータ
制御コントローラ
ピエゾドライバ
回転系
ステージ
フォースセンサ
センサアンプ
●1軸用と2軸用があり、ケースサイズは同じです。●1軸用はあとから1軸追加も可能です。
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