Z軸_スタンダードモデル
1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ
2つの機構で性能分類
高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と、ストロークを確保した「変位拡大機構」に分類されます。
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直接駆動機構
- 圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です。
- ストロークを抑えることで分解能、応答性に優れています。
- 剛性が高く、負荷が大きくても安定した位置決めが行えます。
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変位拡大機構
- 圧電素子の伸長を機械的に増幅させる機構を備えています。
- 拡大率により、直接駆動の数倍～十数倍のストロークが得られます。
- 内蔵変位センサによるフィードバック制御で位置再現性も維持します。
製品応用例
- 半導体、FPD検査装置
- HDDテスタ
- レーザ光学系アライメント
- 干渉系機器
- 分析機器
- ナノメータポジショニング
PSVH / PSVL 標準直動Z軸ステージ
PSVH 直接駆動機構
| 型番 | PSVH35-006U | PSVH45-012U | PSVH60F-012U | PSVH80F-030U |
|---|---|---|---|---|
| 外観 |  |
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| ストローク（クローズドループ時） | 6μm | 12μm | 30μm | |
| 分解能 | 1nm | |||
| 繰り返し位置決め精度 | ±1nm | |||
| 耐荷重 | 10N | 50N | ||
| 共振周波数（0g負荷時） | 3500Hz | 2600Hz | 1600Hz | 1200Hz |
| 内蔵変位センサ | 静電容量式変位センサ | |||
| 本体材質 | アルミ | 鋼 | ||
PSVL 変位拡大機構
| 型番 | PSVL45-060U | PSVL45F-100U | PSVL60-100U | PSVL60F-100U | PSVL60F-150U | PSVL80F-300U |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 外観 |  |
 |
 |
 |
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| ストローク（クローズドループ時） | 60μm | 100μm | 150μm | 300μm | ||
| 分解能 | 2nm | 5nm | 10nm | |||
| 繰り返し位置決め精度 | ±2nm | ±5nm | ±10nm | |||
| 耐荷重 | 5N | 10N | 5N | 10N | ||
| 共振周波数（0g負荷時） | 570Hz | 300Hz | 380Hz | 270Hz | 190Hz | 180Hz |
| 内蔵変位センサ | 静電容量式変位センサ | |||||
| 本体材質 | アルミ | 鋼 | アルミ | 鋼 | ||
機構およびストロークと分解能、共振周波数の比較一覧
応答性の速い動作や高分解能を求める場合は、ストロークを必要最小限に抑えることをおすすめします。
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