チルト(+Z)タイプ

チルト(+Z)タイプ

ピエゾ駆動による回転や角度調整が行えます。 角度変位量はわずかながら、高速振動や角度分解能に優れ、光学デバイスの微小角アライメントや精密面合わせなどに最適です。

弾性ヒンジ機構による回転案内

独自設計の弾性ヒンジ機構により、ピエゾ素子のわずかな伸縮を変位拡大するとともに安定した回転動作を支持しています。
摩擦摩耗がないため滑らかで高速な動きに優れており、微小角の調整用途に適しています。

製品応用例

  • レーザ光軸調整
  • 精密平行面合わせ
  • 光学デバイス微小角調整
  • チルト調整
  • キャビティ長調整

PT1T / PT3V チルト(+昇降)タイプ

SCROLL
SCROLL
型番 PT3V80F-400S PT3V100-800S
外観 チルト(+Z)タイプ チルト(+Z)タイプ
最大チルト角, 移動量 チルト(θx,θy) ±400"[秒]≒±0.11°
≒±1.9mrad
±800"[秒]≒±0.22°
≒±3.9mrad
昇降(Z) 100μm 300μm
分解能 チルト(θx,θy) 0.02"[秒]≒0.10μrad 0.04"[秒]≒0.19μrad
昇降(Z) 2nm 10nm
繰り返し位置決め精度 チルト(θx,θy) ±0.02"[秒]≒±0.10μrad ±0.04"[秒]≒±0.19μrad
昇降(Z) ±2nm ±10nm
耐荷重 10N
共振周波数(0g負荷時) 270Hz 230Hz
内蔵変位センサ 静電容量式変位センサ
本体材質 アルミ+鋼

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