X軸_高耐久モデル

X軸_高耐久モデル

1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ

2つの機構で性能分類

高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と、ストロークを確保した「変位拡大機構」に分類されます。

  • 直接駆動機構

    • 圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です。
    • ストロークを抑えることで分解能、応答性に優れています。
    • 剛性が高く、負荷が大きくても安定した位置決めが行えます。
    直接駆動機構
  • 変位拡大機構

    • 圧電素子の伸長を機械的に増幅させる機構を備えています。
    • 拡大率により、直接駆動の数倍~十数倍のストロークが得られます。
    • 内蔵変位センサによるフィードバック制御で位置再現性も維持します。
    変位拡大機構

製品応用例

  • 半導体、FPD検査装置
  • HDDテスタ
  • レーザ光学系アライメント
  • 干渉系機器
  • 分析機器
  • ナノメータポジショニング

PSM1H 直接駆動機構

SCROLL
SCROLL
型番 PSM1H60-020U PSM1H60F-020U PSM1H70-040U PSM1H70F-040U PSM1H80-060U PSM1H80F-060U
外観 X軸_高耐久モデル X軸_高耐久モデル X軸_高耐久モデル X軸_高耐久モデル X軸_高耐久モデル X軸_高耐久モデル
ストローク(クローズドループ時) 20μm 40μm 60μm
分解能 1nm 2nm
繰り返し位置決め精度 ±1nm ±2nm
耐荷重 10N 30N 10N 30N 10N 50N
共振周波数(0g負荷時) 4300Hz 3110Hz 2740Hz 1780Hz 1600Hz 1080Hz
内蔵変位センサ 静電容量式変位センサ
本体材質 アルミ アルミ アルミ

PSM1L 変位拡大機構

SCROLL
SCROLL
型番 PSM1L70-100U
外観 X軸_高耐久モデル
ストローク(クローズドループ時) 100μm
分解能 2nm
繰り返し位置決め精度 ±2nm
耐荷重 10N
共振周波数(0g負荷時) 930Hz
内蔵変位センサ 静電容量式変位センサ
本体材質 アルミ

「金属ケース封入タイプ」と「樹脂外装タイプ」

金属ケース封入タイプは、圧電素子を外気から遮断した構造 とすることで雰囲気の影響を受けにくくしています。樹脂外装 タイプの圧電素子と比較して周囲温度や湿度に対する耐久性 に優れるほか、長時間の定電圧印加でも劣化(寿命)が起こり にくいなどの特徴を備えています。

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