X軸_開口モデル

X軸_開口モデル

移動テーブル中央に開口(透過穴)を有したラインナップです。レーザ透過用や顕微鏡・分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに適しています。

コンパクトから大開口まで

小型デバイスに適したコンパクトな開口からタイプから、大きなパネル基板をアライメントできる大開ロタイプも揃えています。

スムーズで精確なスキャニング

高精度フィードバック制御により、指令信号に従った信頼性の高い動作が行えます。

製品応用例

  • 走査型プローブ顕微鏡
  • 顕微鏡試料テーブル
  • 分光分析機器
  • 半導体、FPD関連装置
  • 露光装置
  • マッピング測定

PK1L 開口付きX軸ステージ

PK1L

SCROLL
SCROLL
型番 PK1L40-020U-N PK1L60-030U PK1L45-100U
外観 X軸_開口モデル X軸_開口モデル X軸_開口モデル
ストローク(クローズドループ時) - 30μm 100μm
分解能 - 1nm 2nm
繰り返し位置決め精度 - ±1nm ±2nm
耐荷重 5N 10N 5N
共振周波数(0g負荷時) 6600Hz 2800Hz 490Hz
内蔵変位センサ - 静電容量式変位センサ
本体材質 アルミ アルミ アルミ

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