XY軸_高耐久モデル
1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ
2つの機構で性能分類
高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と、ストロークを確保した「変位拡大機構」に分類されます。
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直接駆動機構
- 圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です。
- ストロークを抑えることで分解能、応答性に優れています。
- 剛性が高く、負荷が大きくても安定した位置決めが行えます。
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変位拡大機構
- 圧電素子の伸長を機械的に増幅させる機構を備えています。
- 拡大率により、直接駆動の数倍～十数倍のストロークが得られます。
- 内蔵変位センサによるフィードバック制御で位置再現性も維持します。
製品応用例
- 半導体、FPD検査装置
- HDDテスタ
- レーザ光学系アライメント
- 干渉系機器
- 分析機器
- ナノメータポジショニング
PKM2H 直接駆動機構
| 型番 | PKM2H130-040U |
|---|---|
| 外観 |  |
| ストローク（クローズドループ時） | 40μm |
| 分解能 | 1nm |
| 繰り返し位置決め精度 | ±1nm |
| 耐荷重 | 10N |
| 共振周波数（0g負荷時） | 1440Hz |
| 内蔵変位センサ | 静電容量式変位センサ |
| 本体材質 | アルミ |
PKM2L 変位拡大機構
| 型番 | PKM2L160-100U | PKM2L160-200U | PKM2L160-300U |
|---|---|---|---|
| 外観 |  |
 |
|
| ストローク（クローズドループ時） | 100μm | 200μm | 300μm |
| 分解能 | 2nm | 5nm | 10nm |
| 繰り返し位置決め精度 | ±2nm | ±5nm | ±10nm |
| 耐荷重 | 10N | 10N | 10N |
| 共振周波数（0g負荷時） | 490Hz | 330Hz | 240Hz |
| 内蔵変位センサ | 静電容量式変位センサ | ||
| 本体材質 | アルミ | ||
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