XYZ軸_歪みゲージ式汎用モデル

XYZ軸_歪みゲージ式汎用モデル

内蔵変位センサとして「歪みゲージ式センサ」を採用しコストを抑えた汎用ピエゾステージです。 20nmの移動分解能とフィードバック制御により信頼性の高い位置決めが行え、優れた高速応答性を備えています。

ストローク:(XY)200μm+(Z)200μm

SCROLL
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型番 (XY) PS2L80-200U-S (Z) PSVL60-200U-S
外観 XYZ軸_歪みゲージ式汎用モデル
ストローク(クローズドループ時) (X,Y)200μm 200μm
分解能 (X,Y)20nm 20nm
繰り返し位置決め精度 (X,Y)±20nm ±20nm
耐荷重 5N 5N
共振周波数(0g負荷時) 170Hz 390Hz
内蔵変位センサ 歪みゲージ式変位センサ 歪みゲージ式変位センサ
本体材質 アルミ+鋼 アルミ+鋼

ストローク:(XY)400μm+(Z)400μm

SCROLL
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型番 PS2L90-400U-S PSVL60-400U-S
外観 XYZ軸_歪みゲージ式汎用モデル
ストローク(クローズドループ時) (X,Y)400μm 400μm
分解能 (X,Y)50nm 50nm
繰り返し位置決め精度 (X,Y)±50nm ±50nm
耐荷重 5N 5N
共振周波数(0g負荷時) 155Hz 270Hz
内蔵変位センサ 歪みゲージ式変位センサ 歪みゲージ式変位センサ
本体材質 アルミ+鋼 アルミ+鋼

ストローク:(XY)200μm+(Z)200μm

ストローク:(XY)400μm+(Z)400μm

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