XY軸_開口モデル

XY軸_開口モデル

移動テーブル中央に開口(透過穴)を有したラインナップです。レーザ透過用や顕微鏡・分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに適しています。

コンパクトから大開口まで

小型デバイスに適したコンパクトな開口からタイプから、大きなパネル基板をアライメントできる大開ロタイプも揃えています。

スムーズで精確なスキャニング

高精度フィードバック制御により、指令信号に従った信頼性の高い動作が行えます。

製品応用例

  • 走査型プローブ顕微鏡
  • 顕微鏡試料テーブル
  • 分光分析機器
  • 半導体、FPD関連装置
  • 露光装置
  • マッピング測定

PK2H / PK2L 開口付きXY軸ステージ

PK2H

SCROLL
SCROLL
型番 PK2H100-030U PK2H130-030U PK2H150-050U
外観 XY軸_歪みゲージ式汎用モデル XY軸_歪みゲージ式汎用モデル XY軸_歪みゲージ式汎用モデル
ストローク(クローズドループ時) (X,Y)30μm (X,Y)50μm
分解能 (X,Y)1nm (X,Y)2nm
繰り返し位置決め精度 (X,Y)±1nm (X,Y)±2nm
耐荷重 50N
共振周波数(0g負荷時) 2500Hz 1500Hz 1200Hz
内蔵変位センサ 静電容量式変位センサ
本体材質 アルミ

PK2L

SCROLL
SCROLL
型番 PK2L60
-020U-N
PK2L100
-080U
PK2L64
-100U
PK2L76F
-100U
PK2L130
-100U
PK2L150
-100U
PK2L150
-200U
PK2L150
-300U
PK2L280
-200U
外観 XY軸_開口モデル XY軸_開口モデル XY軸_開口モデル XY軸_開口モデル XY軸_開口モデル XY軸_開口モデル XY軸_開口モデル
ストローク(クローズドループ時) - (X,Y)80μm (X,Y)100μm (X,Y)200μm (X,Y)300μm (X,Y)200μm
分解能 - (X,Y)2nm (X,Y)5nm (X,Y)10nm (X,Y)5nm
繰り返し位置決め精度 - (X,Y)±2nm (X,Y)±5nm (X,Y)±10nm (X,Y)±5nm
耐荷重 10N 10N 20N
共振周波数(0g負荷時) 1700Hz 530Hz 300Hz 240Hz 580Hz 420Hz 370Hz 240Hz 150Hz
内蔵変位センサ 静電容量式変位センサ
本体材質 アルミ アルミ

スムーズで高精度な面内スキャニング

高精度フィードバック制御により、指令信号に追従した信頼性の高いスキャニング動作が行えます。

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