1軸タイプ
精密切削におけるナノ・マイクロ加工を実現するステージです。 工具の切り込みやワーク（加工対象物）を高速・高精度に位置制御できます。
防塵防滴の対策
- 密閉構造で加工液やミスト対策を施しており、小さな切り屑などの浸入も防ぎます。
堅牢な本体
- 加工時の安定性を確保するため本体材質として鋼材を使用。
- ビビリ振動や切削負荷などにより加工精度を損なうことのない堅牢な本体構造となっています。
製品応用例
- ダイヤモンドバイト送り
- 微細切削、研削加工
- 高速工具制御
- ワーク位置決め
- 精密金型加工
- 高荷重物の精密位置決め
PU1 1軸タイプ
PU1
| 型番 | PU1H70F-012U | PU1H80F-030U | PU1H150F-060U |
|---|---|---|---|
| 外観 |  |
 |
 |
| ストローク（クローズドループ時） | 12 μm | 30 μm | 60 μm |
| 分解能 | 1 nm | 2 nm | |
| 繰り返し位置決め精度 | ±1 nm | ±2 nm | |
| 耐荷重 | 50 N | ||
| 共振周波数（0g負荷時） | 4300 Hz | 2200 Hz | 650 Hz |
| 内蔵変位センサ | 静電容量式変位センサ | ||
| 本体材質 | 鋼 | ||
| 型番 | PU1L70F-080U |
|---|---|
| 外観 |  |
| ストローク（クローズドループ時） | 80 μm |
| 分解能 | 2 nm |
| 繰り返し位置決め精度 | ±2 nm |
| 耐荷重 | 50 N |
| 共振周波数（0g負荷時） | 1000 Hz |
| 内蔵変位センサ | 静電容量式変位センサ |
| 本体材質 | 鋼 |
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